Плоскостность уплотнительной поверхности — залог герметичности вашей вакуумной камеры Эти CNC-обработанные детали полупроводниковых камер являются несущими стенками и газораспредел
BQUQ CNC-обработанные детали полупроводниковых камер, прецизионное производство в Китае
Плоскостность уплотнительной поверхности — залог герметичности вашей вакуумной камеры Эти CNC-обработанные детали полупроводниковых камер являются несущими стенками и газораспределительными кольцами д
Get a Fast Quote for This Part
Send us your drawing / quantity / material — reply within 24h.
Плоскостность уплотнительной поверхности — залог герметичности вашей вакуумной камеры
Эти CNC-обработанные детали полупроводниковых камер являются несущими стенками и газораспределительными кольцами для инструментов травления, осаждения и ионной имплантации. Мы обрабатываем критические уплотнительные поверхности с плоскостностью 0.005 мм и обеспечиваем шероховатость поверхности Ra 0.4 мкм на канавках под уплотнительные кольца. Это означает, что ваша камера удерживает вакуум 10⁻⁶ Торр без точек защемления эластомера. BQUQ уже 20 лет занимается CNC-производством в Дунгуане, поэтому вы получаете эту точность за 10 дней — а не за 6 недель, как это обычно бывает на американских или немецких предприятиях.
Почему алюминий 6061-T6 лучше нержавеющей стали для RF-плазменных камер
Для компонентов, контактирующих с плазмой, мы рекомендуем алюминий 6061-T6. Его теплопроводность (167 Вт/м·К) отводит тепло из зоны реакции в 10 раз быстрее, чем сталь 316L. Мы снимаем внутренние напряжения с каждой пластины перед обработкой. После механической обработки мы наносим твердое анодирование с эквивалентной твердостью 60 HRC на поверхность — это предотвращает дугообразование и выделение частиц. Для конечных станций ионной имплантации мы используем сталь 304L или 316L с электрополировкой до Ra 32 для снижения газовыделения ниже 1×10⁻⁹ Торр·л/с·см².
Наш 5-осевой процесс обработки справляется с портами под нестандартными углами
Детали вашей камеры часто требуют газовых входных портов под углами 15°, 30° или 45°. Мы используем 5-осевые фрезерные станки DMG MORI, которые обрабатывают эти наклонные отверстия за одну установку. Это исключает накопление погрешности от повторного переустановки. Типичная точность позиционирования между портами составляет ±0.01 мм. Мы также нарезаем внутреннюю резьбу по классу 2A — это критически важно для отверстий под нагревательные картриджи и термопарные колодцы, которые должны герметизироваться при термических циклах.
Сертификаты на материалы и применяемая термическая обработка
Каждая партия сырья сопровождается сертификатом EN 10204 3.1. Мы проверяем химический состав и твердость перед началом обработки. Для алюминиевых деталей мы используем состояние T6 (190 HB). Для нержавеющей стали — состояние после растворного отжига, а при необходимости выполняем финальный вакуумный отжиг при 400°C для удаления водородного охрупчивания. Мы фиксируем показания твердости в листе контроля каждой детали — вы получаете фактические значения, а не «типичные» показатели.
Контроль перед каждой отгрузкой: КИМ и гелиевый тест на герметичность
Мы проверяем 100% критических характеристик, а не только выборку. Координатно-измерительная машина Zeiss проверяет все отверстия, схемы крепления и уплотнительные поверхности по вашей 3D-модели. Для деталей, которые должны удерживать вакуум, мы проводим гелиевый тест на герметичность до 1×10⁻⁹ мбар·л/с. Мы также фотографируем деталь рядом с калиброванной шкалой для ваших записей. Вы получаете полный отчет о контроле с каждой отгрузкой — без дополнительной платы.
Поверхностная обработка для контроля частиц и коррозионной стойкости
Стандартная обработка — Ra 0.8 мкм на неуплотнительных участках и Ra 0.4 мкм на уплотнительных поверхностях. Для агрессивных химических сред, таких как Cl₂ или HBr, мы наносим твердое анодирование 25 мкм (тип III), которое устойчиво к воздействию. Для деталей из нержавеющей стали мы предлагаем электрополировку, которая удаляет наклепанный слой и оставляет пассивную поверхность из оксида хрома. Мы не используем абразивную струйную обработку — она внедряет частицы абразива, вызывающие дефекты пластин.
Упаковка и экспортная документация для глобальной чистопоместной доставки
Мы упаковываем детали в двойные ESD-безопасные пакеты и укладываем их в деревянные ящики с пенопластовой прокладкой. Внешний ящик маркируется «Хрупкое — вакуумный класс» и содержит пакет с силикагелем. Мы оформляем всю экспортную документацию, включая фитосанитарный сертификат и коммерческий счет. Доставка через DHL или FedEx до двери занимает 3-5 дней в США, ЕС или Японию. Для срочных ремонтов мы можем отправить одну деталь авиапочтой в течение 48 часов.
100% КИМ, гелиевый тест на герметичность по запросу
Почему мы не даем цену только по вашему 2D-чертежу
Нам нужен ваш 3D-файл в формате STEP или IGES. 2D-чертеж не отражает требования к профилю поверхности на сложных изогнутых портах. Пришлите нам твердотельную модель, и мы проверим толщину стенок, доступ инструмента и внутренние радиусы. Если мы обнаружим проблему с производством, мы сообщим вам в течение 4 часов — а не после того, как вы оплатите оснастку.
Как мы работаем с вашей оснасткой и повторными заказами
Мы храним ваши CNC-программы, приспособления и процедуры контроля на нашем сервере в течение 10 лет. При повторном заказе мы извлекаем программу, повторно изготавливаем первую деталь и отгружаем в течение 7 дней. Вы не платите за переналадку при повторных заказах. Для годовых контрактов мы можем хранить страховой запас вашего критически важного сырья — просто сообщите нам ваш прогноз.
Каков ваш минимальный заказ для нестандартной детали камеры?
Нулевой минимальный объем заказа. Мы изготавливаем один прототип или 1000 серийных деталей по одинаковой цене за единицу.
Можете ли вы подобрать конкретный сплав от моего текущего поставщика?
Да, мы закупаем материалы на сертифицированных заводах в Китае, Тайване и Японии; пришлите нам вашу спецификацию ASTM или DIN, и мы подтвердим наличие в течение 24 часов.
Как вы гарантируете качество для единичной детали?
Мы используем тот же контроль на КИМ и сертификаты на материалы для одной детали, что и для партии из 1000 штук — без сокращений.
Каков самый быстрый срок изготовления для срочной замены?
Мы можем изготовить простую алюминиевую пластину за 48 часов и отправить авиапочтой; сложные камеры с несколькими портами занимают 5-7 дней.
Готовы получить детали камеры с настоящей точностью? Отправьте вашу 3D-модель и количество на sc@bquq.com. Мы вернем твердое коммерческое предложение в течение 12 часов, включая стоимость материала, время обработки и варианты доставки. По срочным вопросам свяжитесь с нами в WhatsApp по номеру +86 13713157787. Без минимального заказа, без платы за проектирование, без скрытых затрат на оснастку — только CNC-обработанные детали полупроводниковых камер, соответствующие вашему руководству по допускам CNC-обработки и выдерживающие тысячи технологических циклов. Наше прецизионное производство в Китае подкреплено 20-летним опытом экспорта. Мы также поможем вам выбрать правильный инструмент для вашего конкретного сплава — ознакомьтесь с нашим руководством по выбору режущего инструмента для CNC для подробностей. Отправьте ваш чертеж сегодня.
