Плоскостность уплотнительной поверхности — залог герметичности вашей вакуумной камеры Эти CNC-обработанные детали полупроводниковых камер являются несущими стенками и газораспределительными кольцами д
Эти CNC-обработанные детали полупроводниковых камер являются несущими стенками и газораспределительными кольцами для инструментов травления, осаждения и ионной имплантации. Мы обрабатываем критические уплотнительные поверхности с плоскостностью 0.005 мм и обеспечиваем шероховатость поверхности Ra 0.4 мкм на канавках под уплотнительные кольца. Это означает, что ваша камера удерживает вакуум 10⁻⁶ Торр без точек защемления эластомера. BQUQ уже 20 лет занимается CNC-производством в Дунгуане, поэтому вы получаете эту точность за 10 дней — а не за 6 недель, как это обычно бывает на американских или немецких предприятиях.
Для компонентов, контактирующих с плазмой, мы рекомендуем алюминий 6061-T6. Его теплопроводность (167 Вт/м·К) отводит тепло из зоны реакции в 10 раз быстрее, чем сталь 316L. Мы снимаем внутренние напряжения с каждой пластины перед обработкой. После механической обработки мы наносим твердое анодирование с эквивалентной твердостью 60 HRC на поверхность — это предотвращает дугообразование и выделение частиц. Для конечных станций ионной имплантации мы используем сталь 304L или 316L с электрополировкой до Ra 32 для снижения газовыделения ниже 1×10⁻⁹ Торр·л/с·см².
Детали вашей камеры часто требуют газовых входных портов под углами 15°, 30° или 45°. Мы используем 5-осевые фрезерные станки DMG MORI, которые обрабатывают эти наклонные отверстия за одну установку. Это исключает накопление погрешности от повторного переустановки. Типичная точность позиционирования между портами составляет ±0.01 мм. Мы также нарезаем внутреннюю резьбу по классу 2A — это критически важно для отверстий под нагревательные картриджи и термопарные колодцы, которые должны герметизироваться при термических циклах.
Каждая партия сырья сопровождается сертификатом EN 10204 3.1. Мы проверяем химический состав и твердость перед началом обработки. Для алюминиевых деталей мы используем состояние T6 (190 HB). Для нержавеющей стали — состояние после растворного отжига, а при необходимости выполняем финальный вакуумный отжиг при 400°C для удаления водородного охрупчивания. Мы фиксируем показания твердости в листе контроля каждой детали — вы получаете фактические значения, а не «типичные» показатели.
Мы проверяем 100% критических характеристик, а не только выборку. Координатно-измерительная машина Zeiss проверяет все отверстия, схемы крепления и уплотнительные поверхности по вашей 3D-модели. Для деталей, которые должны удерживать вакуум, мы проводим гелиевый тест на герметичность до 1×10⁻⁹ мбар·л/с. Мы также фотографируем деталь рядом с калиброванной шкалой для ваших записей. Вы получаете полный отчет о контроле с каждой отгрузкой — без дополнительной платы.
Стандартная обработка — Ra 0.8 мкм на неуплотнительных участках и Ra 0.4 мкм на уплотнительных поверхностях. Для агрессивных химических сред, таких как Cl₂ или HBr, мы наносим твердое анодирование 25 мкм (тип III), которое устойчиво к воздействию. Для деталей из нержавеющей стали мы предлагаем электрополировку, которая удаляет наклепанный слой и оставляет пассивную поверхность из оксида хрома. Мы не используем абразивную струйную обработку — она внедряет частицы абразива, вызывающие дефекты пластин.
Мы упаковываем детали в двойные ESD-безопасные пакеты и укладываем их в деревянные ящики с пенопластовой прокладкой. Внешний ящик маркируется «Хрупкое — вакуумный класс» и содержит пакет с силикагелем. Мы оформляем всю экспортную документацию, включая фитосанитарный сертификат и коммерческий счет. Доставка через DHL или FedEx до двери занимает 3-5 дней в США, ЕС или Японию. Для срочных ремонтов мы можем отправить одну деталь авиапочтой в течение 48 часов.
| Характеристика | Значение / Диапазон |
|---|---|
| Материалы | Алюминий 6061-T6, 7075-T6, нержавеющая сталь 304L/316L, титан Grade 5 |
| Максимальный размер детали | 1200 мм x 800 мм x 400 мм |
| Диапазон толщин | от 2 мм до 200 мм |
| Твердость (алюминий) | T6: 95 HB; твердое анодирование: 60 HRC экв. |
| Твердость (нержавеющая сталь) | Растворный отжиг: макс. 200 HB |
| Допуск на обработку | ±0.005 мм (линейный), ±0.01 мм (позиционный) |
| Шероховатость поверхности Ra | 0.4 мкм (уплотнительная), 0.8 мкм (стандартная), 0.2 мкм (оптическая) |
| Биение (концентричность) | ≤0.005 мм между отверстиями |
| Срок изготовления | 10 дней стандартный, 5 дней ускоренный |
| Минимальный заказ | Без минимального заказа — 1 шт. или 1000 шт. |
| Контроль | 100% КИМ, гелиевый тест на герметичность по запросу |
Нам нужен ваш 3D-файл в формате STEP или IGES. 2D-чертеж не отражает требования к профилю поверхности на сложных изогнутых портах. Пришлите нам твердотельную модель, и мы проверим толщину стенок, доступ инструмента и внутренние радиусы. Если мы обнаружим проблему с производством, мы сообщим вам в течение 4 часов — а не после того, как вы оплатите оснастку.
Мы храним ваши CNC-программы, приспособления и процедуры контроля на нашем сервере в течение 10 лет. При повторном заказе мы извлекаем программу, повторно изготавливаем первую деталь и отгружаем в течение 7 дней. Вы не платите за переналадку при повторных заказах. Для годовых контрактов мы можем хранить страховой запас вашего критически важного сырья — просто сообщите нам ваш прогноз.
Нулевой минимальный объем заказа. Мы изготавливаем один прототип или 1000 серийных деталей по одинаковой цене за единицу.
Да, мы закупаем материалы на сертифицированных заводах в Китае, Тайване и Японии; пришлите нам вашу спецификацию ASTM или DIN, и мы подтвердим наличие в течение 24 часов.
Мы используем тот же контроль на КИМ и сертификаты на материалы для одной детали, что и для партии из 1000 штук — без сокращений.
Мы можем изготовить простую алюминиевую пластину за 48 часов и отправить авиапочтой; сложные камеры с несколькими портами занимают 5-7 дней.
Готовы получить детали камеры с настоящей точностью? Отправьте вашу 3D-модель и количество на sc@bquq.com. Мы вернем твердое коммерческое предложение в течение 12 часов, включая стоимость материала, время обработки и варианты доставки. По срочным вопросам свяжитесь с нами в WhatsApp по номеру +86 13713157787. Без минимального заказа, без платы за проектирование, без скрытых затрат на оснастку — только CNC-обработанные детали полупроводниковых камер, соответствующие вашему руководству по допускам CNC-обработки и выдерживающие тысячи технологических циклов. Наше прецизионное производство в Китае подкреплено 20-летним опытом экспорта. Мы также поможем вам выбрать правильный инструмент для вашего конкретного сплава — ознакомьтесь с нашим руководством по выбору режущего инструмента для CNC для подробностей. Отправьте ваш чертеж сегодня.
| Параметр | Возможности |
|---|---|
| Материалы | AL6061/7075, SUS303/304/316, сталь 45#, медь T2, латунь H59, POM, PEEK, нейлон |
| Допуски | ±0.005 мм стандарт, ±0.003 мм по запросу |
| Станки | 3/4/5-осевые ЧПУ, токарно-фрезерные, швейцарские токарные |
| Поверхность | Анодирование, никелирование, цинкование, пассивация, пескоструйная обработка, полировка |
| Диапазон размеров | Макс. 400 x 300 x 200 мм |
| Прототип | 72 часа, без минимального заказа на образцы |
| Контроль | Полный отчет по каждой партии, данные КИМ по запросу |
