Эти детали полупроводниковых камер с ЧПУ представляют собой вакуум-герметичные, устойчивые к плазме корпуса, в которых выполняются этапы обработки пластин. Мы выдерживаем толщину стенок с допуском ±0,
Эти детали полупроводниковых камер с ЧПУ представляют собой вакуум-герметичные, устойчивые к плазме корпуса, в которых выполняются этапы обработки пластин. Мы выдерживаем толщину стенок с допуском ±0,005 мм, обеспечиваем биение 0,005 мм на всех сопрягаемых поверхностях и отправляем первые образцы за 5 дней — а не за 15. Каждая деталь фрезеруется из сертифицированного алюминия или нержавеющей стали на 3-осевых и 5-осевых станках, затем подвергается твердому анодированию до эквивалентной поверхностной твердости 60 HRC для устойчивости к эрозии в агрессивных средах травления и осаждения.
Уплотнительная канавка — сердце любой камеры: путь утечки здесь разрушает процесс. Мы режем эти канавки специализированным одноточечным инструментом, а не универсальными концевыми фрезами. Наши программы ЧПУ используют попутное фрезерование на 12 000 об/мин с шагом 0,02 мм, что создает поверхность, равномерно сжимающую O-кольца. Мы проверяем каждую канавку калиброванным пневматическим калибром, а не только профилометром. Результат: скорость утечки гелия ниже 1×10⁻⁹ мбар·л/с на каждой камере, которую мы отправляем.
Для большинства камер мы используем алюминий 6061-T6, поскольку он сочетает теплопроводность (167 Вт/м·К) и обрабатываемость. Для плазмы на основе фтора мы переходим на нержавеющую сталь 316L или инконель 625 — эти сплавы устойчивы к атаке галогенов, растворяющих стандартный алюминий. После фрезерования мы применяем твердое анодирование (тип III) до 50–60 HRC или химическое никелирование до 48–52 HRC на нержавеющей стали. Закалка T6 проверяется тестированием проводимости на каждой поступающей заготовке.
Мы не полагаемся на выборочные проверки. Каждая деталь камеры проходит полный контроль на координатно-измерительной машине (КИМ) с щупом разрешением 0,001 мм — от 40 до 120 измеряемых точек в зависимости от геометрии. Уплотнительные канавки измеряются тем же пневматическим калибром, который используется при финальной сборке. Шероховатость поверхности проверяется лазерным профилометром, а не ручным скретч-измерителем. Все данные сохраняются в PDF-отчете с номером вашего заказа и отправляются вам до отгрузки детали.
Стенки камер имеют угловые порты, отверстия для подачи газа и охлаждающие каналы, которые 3-осевой станок не может обработать без нескольких установок. Каждая установка добавляет риск биения. Наши 5-осевые станки DMG MORI режут эти элементы за один зажим, выдерживая позиционный допуск ±0,01 мм по всей детали. Для вашего чертежа, если угол порта составляет 30° или 45°, мы обрабатываем его за один проход — без дополнительной операции ЭЭО или сверления.
Стандартный срок — 5–7 дней для одного прототипа камеры, 15 дней для партии из 50 штук. Мы не устанавливаем минимальный объем заказа — закажите одну деталь для квалификации, затем масштабируйте до 500. Это прецизионное производство, сделанное в Китае, с особенностью: мы сохраняем собственные линии обработки, поэтому контролируем график. Никаких брокеров, посредников или ожидания свободной смены у субподрядчика.
Внутренние поверхности камер, контактирующие с плазмой, требуют Ra 0,4 мкм для снижения выделения частиц — мы достигаем этого с помощью 4-зубой твердосплавной концевой фрезы с радиальным врезанием 0,01 мм, затем алмазным проходом 2 мкм. Для охлаждающих каналов, где шероховатость улучшает теплопередачу, мы оставляем Ra 1,6 мкм. Таблица ниже показывает наши стандартные варианты; укажите ваши требования, и мы их выполним без дополнительных затрат, если только геометрия не потребует специального инструмента.
| Параметр | Стандартный диапазон | Примечания |
|---|---|---|
| Материалы | 6061-T6 Al, 316L SS, Inconel 625 | Сертифицированы с прослеживаемостью до производителя |
| Макс. размер детали | 800 мм × 600 мм × 400 мм | Больше по запросу |
| Твердость (Al после анодирования) | 50–60 HRC | Анодирование типа III, толщина 25–50 мкм |
| Твердость (SS после никелирования) | 48–52 HRC | Химическое никелирование, 20–30 мкм |
| Допуск (обработка) | ±0,005 мм | На критических уплотнительных поверхностях |
| Допуск (общий) | ±0,02 мм | ISO 2768-fine |
| Шероховатость поверхности | Ra 0,4 мкм до Ra 1,6 мкм | Измеряется лазерным профилометром |
| Биение (концентричные элементы) | 0,005 мм TIR | Проверяется на КИМ |
| Срок (прототип) | 5 дней | С момента утверждения чертежа |
| Срок (партия из 50) | 15 дней | Без минимального заказа — заказывайте 1 или 500 |
Ваша камера может использовать фланец CF, ISO-K или запатентованную конструкцию зажима. Мы обрабатываем все это из цельной заготовки — без сварки и пайки. Поверхность фланца доводится до плоскостности 0,002 мм, а отверстия под болты сверлятся с точностью позиционирования ±0,05 мм. Если ваш чертеж указывает порт, которого нет в нашей стандартной библиотеке инструментов, мы программируем его напрямую. Наше CAM-программное обеспечение поддерживает винтовую интерполяцию для резьбы, поэтому вам не нужны отдельные вставки.
Минимального заказа нет — мы обрабатываем один прототип детали камеры для квалификации, затем масштабируем до любого необходимого объема.
Да, наши 5-осевые станки режут любой угол от 0° до 90° с точностью позиционирования ±0,01 мм, и мы сверлим охлаждающие каналы глубиной до 300 мм с минимальным диаметром 3 мм.
Каждая деталь проходит полный контроль на КИМ с разрешением 0,001 мм, уплотнительные канавки проверяются пневматическим калибром, а шероховатость поверхности измеряется лазером — все данные отправляются вам в виде PDF-отчета.
Мы отправляем партию из 20 штук за 10 дней с момента утверждения чертежа, и мы подтверждаем график по электронной почте в течение 12 часов после получения вашего запроса.
Большинство фабрик в Дунгуане передают работы по камерам субподрядчикам. Мы — нет. Наши собственные 20 станков с ЧПУ работают круглосуточно, и наша команда контроля качества находится на том же этаже, что и операторы. Именно поэтому мы можем гарантировать биение 0,005 мм — оператор несет деталь на КИМ, а не через весь город. Это также причина, почему мы укладываемся в 5-дневные прототипы: нет очереди у внешнего поставщика. Это прецизионное производство, сделанное в Китае, но с контролем односайтовой операции.
Чтобы избежать распространенных ошибок, прочитайте наше руководство по выбору режущего инструмента для ЧПУ — оно объясняет, как геометрия инструмента влияет на шероховатость поверхности вашей камеры. Для более жестких спецификаций ознакомьтесь с нашим руководством по допускам при ЧПУ-обработке, чтобы увидеть, что достижимо в производстве, а не только на демонстрационной детали. А если вы оцениваете энергозатраты, наши заметки об устойчивом прецизионном производстве показывают, как мы снижаем потребление энергии на деталь на 18%.
Отправьте свой чертеж для этих деталей полупроводниковых камер с ЧПУ и получите точное предложение в течение 12 часов. Электронная почта sc@bquq.com или WhatsApp +86 13713157787. Мы ответим с ценой, сроком и анализом технологичности (DFM) — бесплатно, без обязательств.
| Параметр | Возможности |
|---|---|
| Материалы | AL6061/7075, SUS303/304/316, сталь 45#, медь T2, латунь H59, POM, PEEK, нейлон |
| Допуски | ±0.005 мм стандарт, ±0.003 мм по запросу |
| Станки | 3/4/5-осевые ЧПУ, токарно-фрезерные, швейцарские токарные |
| Поверхность | Анодирование, никелирование, цинкование, пассивация, пескоструйная обработка, полировка |
| Диапазон размеров | Макс. 400 x 300 x 200 мм |
| Прототип | 72 часа, без минимального заказа на образцы |
| Контроль | Полный отчет по каждой партии, данные КИМ по запросу |
